洁净室静电控制该如何控制

1、静电控制的基本原则

（1）确定静电控制级别

（2）尽量减少静电荷的产生

（3）泄放和中和的办法加速静电荷消散，防止静电积累

（4）保护产品不受ESD的损坏

2、确定静电控制的级别

（1）元器件、组件和设备静电敏感度分级

1级：易遭受0-1999V静电电压损坏的

2级：易遭受2000-3999V静电电压损坏的

3级：易遭受4000-5999V静电电压损坏的

而敏感静电压大于16000V的，便不必采取防静电措施。

（2）静电防护工作区的分级

A级：允许对地静电电位不超过±100V

B级：允许对地静电电位不超过±1000V

实际工程中是分静电电位不超过100V、500V、1000V等对应元器件、组件和设备静电敏感电压的3级。

3、尽量减小静电荷的产生

这是控制静电三步曲的第一步，在这净化工作环境中，最好的措施：

（1）尽量采用性质相似器材，减少在接触摩擦分离过程中产生静电电荷；

（2）尽量采用导静电型或静电耗散型材料的器材，减少接触摩擦分离过程产生积累静电荷；

（3）尽量采用减少接触摩擦分离而产生静电荷的生产流程。

4、泄放和中和

这是控制静电三步曲的第二步，在微电子生产的净化室中最通常的措施是接地，采用导电性或耗散性材料泄放静电荷，以及离子化消电器中和静电荷。

（1）接地

洁净室应设一个独立静电接地系统（包括地面接地金属网支系统、生产线工作站接地支系统），以便室内所有设备金属外壳、移动设备的金属支架、防静电器材等安全、有效地将静电荷泄放至大地。工作人员的带电则通过手腕带接地，以及通过防静电鞋或脚跟带再经防静电地面向大地泄放。地面、墙面、顶棚、隔。