分析净化工程中净化车间湿度控制的重要性

    在净化工程中，净化车间的温湿度控制主要是根据工艺要求来确定。在满足工艺要求的条件下，净化车间的温湿度控制应考虑到人的舒适度感。从净化过程可以知道，随着空气净化度要求的提高，出现了工艺对净化室温湿度控制的要求也越来越严的趋势。具体工艺对温度的要求以后还要列举，但作为总的原则看，由于净化工程中加工精度越来越精细，所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100 um的硅片，温度上升1度，就引起了0.24 um线性膨胀，所以必须有±0.1度的恒温，同时要求湿度值一般较低，因为人出汗以后，对产品将有污染，特别是怕钠的半导体车间，这种车间温度不宜超过25度，湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时，冷却水管壁上会结露，如果发生在精密装置或电路中，就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外，湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面难以清除。相对湿度越高,粘附的越难去掉，但当相对湿度低于30%时，又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面，同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产最佳湿度范围为35—45%。从以上各种情况看，净化车间中的温湿度控制要求是非常严格的，专业的净化车间温湿度控制队伍是净化工程中必备的。

    以上就是广州科凌净化工程公司分析净化工程中净化车间湿度控制的重要性。希望对你有所帮助。我们专业从事：无尘车间,净化工程,洁净厂房,净化车间,无菌车间,净化厂房,无尘厂房,半导体无尘车间,医疗制药净化工程,生物实验室净化工程,电子光电净化工程,医疗洁净工程,实验室净化,手术室净化,无尘车间装修,净化车间装修,净化工程装修,GMP净化车间,广州净化工程公司,中央厨房装修,医用医药冷库,厂房净化工程,实验室净化工程,厂房净化装饰,实验室改造工程,厂房净化设计,车间净化工程,数据中心机房装修。欢迎访问我们的官方网站：http://www.kelinggc.cn 。