SICOLAB洁净工程检测技术规程

  SICOLAB洁净工程检测技术规程

  一般规定

  一、洁净工程检测可分为常规检测和综合性能检测。

  二、洁净工程常规检测应符合通风与空调工程检测技术规程的规定。

  三、洁净工程综合性能检测包括下列主要内容：

  1 洁净室风量、风速、洁净度、压差的检测；

  2 高效过滤器检漏；

  3 洁净室温湿度、噪声检测；

  4 生物洁净室微生物的检测；

  5 精密操作的洁净室微振检测；

  6 电子工业洁净室围护结构表面导静电性的检测；

  7 洁净室气流检测；

  8 非单向流洁净室自净能力检测；

  9 围护结构严密性检测；

  10 围护结构渗漏检测；

  11 洁净室内甲醛、氨、臭氧、二氧化碳浓度的检测；

  12 洁净室分子态污染物和表面污染物的检测。

  四、洁净室试运行和调试应在空态或静态条件下进行，需要时也可与建设方(用户)协商确定检测状态。试运行和调试时，冷(热)源系统运转应正常，试运行时间不应少于8h。

  五、综合性能检验应在系统连续稳定运行12h以上进行。

  六、洁净室风量、风速、洁净度、压差、温湿度、噪声的检测应符合第3章的规定，对于有恒温恒湿项目的检测应符合本规程第7章的规定。

  七、洁净室内甲醛、氨、臭氧、二氧化碳浓度的检测，应符合国家室内空气质量相关标准的规定，对于洁净室分子态污染物和表面污染物的检测，应符合现行国家标准《洁净室施工及验收规范》GB 50591的规定。

  高效过滤器扫描检漏

  一、高效过滤器扫描检漏应符合下列规定：

  1 对送、排(回)风高效空气过滤器的现场检漏，应采用扫描法，采用光度计或粒子计数器在过滤器与安装框架接触面、过滤器边框与滤纸接触面以及其全部滤芯出风面上进行。过滤器上游用于现场扫描检漏检测的气溶胶可为液态，也可为固态。

  2 被检过滤器的风量宜在设计风量的80％～120％之间。

  3 当高效过滤器上游大气尘浓度低于4000粒/L，且过滤器上游系统上可设置检漏气溶胶注入点时，可采用光度计法进行检漏。

  4 粒子计数器法可适用于所有等级的洁净场所过滤器检漏，适用过滤器最大穿透率可低至0. 000005％或更低。

  5 采用光度计扫描检漏时，高效过滤器上游气溶胶浓度宜在20mg／m3～80mg／m3，不得低于10mg／m3；采用粒子计数器扫描检漏时，高效过滤器上游浓度及采样流量应符合表1的规定。当上游浓度达不到规定要求时，应采用适当措施增加上游浓度。

  表1粒子计数器扫描检漏时的参数

  二、高效过滤器扫描检漏应按下列方法进行：

  1 检漏时将采样口放在距离被检过滤器表面2cm～3cm处，宜以1．5cm／s(2．83L／min)或2cm／s(28．3L／min)的速度移动，对被检过滤器进行扫描。

  2 当上游浓度较大时可提高扫描速度。

  3 采用光度计扫描检漏时，过滤器局部透过率不应超过0．01％；采用粒子计数器扫描检漏时，粒子计数器显示值为检测结果。

  生物洁净室微生物检测

  一、生物洁净室微生物检测应符合下列规定：

  1 生物洁净室微生物检测宜采用沉降菌法和浮游菌法。

  2 微生物的静态或空态检测前，应对各类表面进行擦拭消毒，但不应对室内空气进行熏蒸、喷洒等消毒；动态检测禁止对表面和空气进行消毒。

  3 采样点的位置应协商确定，宜布置在有代表性的地点和气流扰动极小的地点，在乱流洁净室内培养皿不应布置在送风口正下方，当无特殊要求时，可在洁净区内均匀布置。

  二、生物洁净室微生物的检测应按下列步骤及方法进行：

  1 检测之前，应确保培养皿、采样器等检测设备没有受到污染。测试人员必须穿着无菌服，戴口罩，头、手均不应 ** ，裤管应塞在袜套内。应制定和记录检测计划，包括采样位置、数量、顺序等，所有培养皿均在底部编号，记录各采样位置相对应的培养皿编号。

  2 采用沉降法测试时。放置培养皿时宜从内向外依次布置，将带盖的培养皿放置在适当位置，拿开盖子，搭在皿边上，并使培养基完全暴露，过程中避免跨越已经暴露的培养皿。经过沉降后，宜从外向内依次收皿，将盖子盖好后倒置，收起培养皿。为防止脱水，最长沉降时间不宜超过1h。

  3 采用浮游菌测试时，应开动真空泵，排除残余消毒剂后，再放入培养皿或培养基条，置采样口于采样点后，开启采样器、真空泵，设定采样时间，进行采样。

  4 收皿后应及时放入培养箱培养，在培养箱外时间不宜超过2h。当无专业标准规定时，对于检测细菌总数，培养温度应采用35℃～37℃，培养时间应为24h～48h；对于检测真菌，培养温度应采用27℃～29℃，培养时间宜为3d。对培养后的皿进行菌落计数时，应采用5倍～10倍放大镜查看，当有2个或更多的菌落重叠时，可分辨时应以2个或多个菌落计数。

  洁净室微振检测

  一、洁净室微振检测应符合下列规定：

  1 室内微振的检测应采用能满足检测精度要求的振动分析仪；

  2 测点应选在室中心地面和有必要测定振动位置的地面上，以及各壁板表面的中心处。

  二、洁净室微振检测应按下列步骤及方法进行：

  1 应分别测出室内全部净化空调设备正常运转和停止运转两种情况下纵轴、横轴和垂直轴三个方向的振幅值；

  2 微振测试宜分阶段进行，首先应进行本底环境振动测试，再进行建筑结构振动测试，对于精密设备仪器应首先进行安装地点的环境振动测试，再进行精密设备仪器的微振测试。

  围护结构表面导静电性检测

  一、地面、墙面和工作台面等表面导静电性能应采用符合精度要求的高阻计检测。

  二、围护结构表面导静电性检测应在测试表面上选定代表区域的两点，用导线把高阻计和圆柱形铜电极连接起来进行测量。

  洁净室气流检测

  一、洁净室气流检测应符合下列规定：

  1 不应用气流动态数值模拟(CFD)的分析结果代替洁净室气流检测；

  2 气流检测包括气流流型、气流流向、流线平行性等，可采用丝线法或示踪剂法(发烟等)等，逐点观察和记录气流流向，并可用量角器测量气流角度，也可采用照相机或摄像机等图像处理技术进行记录，采用热球式风速仪或超声三维风速仪等测量各点气流速度；

  3 采用丝线法时可采用尼龙单丝线、薄膜带等轻质材料，放置在测试杆的末端，或装在气流中细丝格栅上，直接观察出气流的方向和因干扰引起的波动；

  4 采用示踪剂法时，可采用去离子(DI)水，用固态二氧化碳(干冰)或超声波雾化器等生成直径为0．5μm～50μm的水雾，采用四氯化钛(TiCl4)等“酸雾”作示踪剂时，应确保不致对洁净室、室内设备以及操作人员产生危害。

  二、洁净室气流检测应按下列步骤及方法进行：

  1 气流流型检测时，对于垂直单向流洁净室可选择洁净室纵、横剖面各一个，以及距地面高度0．8m、1. 5m的水平面各一个；水平单向流洁净室可选择纵剖面和工作区高度水平面各一个，以及距送、回风墙面0．5m和房间中心处等3个横剖面。所有面上的测点间距均应为0．2m～1. 0m。对于乱流洁净室，应选择通过代表性送风口中心的纵、横剖面和工作区高度的水平面各1个，剖面上的测点间距应为0．2m～0．5m，水平面上的测点间距应为0．5m～1．0m。两个风口之间的中线上应设置测点；

  2 气流流向检测时，应在被测区域内前后之间设置多个测点；

  3 流线平行性检测时，应在每台过滤器下设置测点。

  非单向流洁净室自净能力检测

  一、非单向流洁净室自净能力检测应符合下列规定：

  1 非单向流洁净室自净能力检测宜适用于ISO6级和ISO7级洁净室，对于更低级别的洁净室不宜检测；

  2 自净能力检测可采用计算自净时间和实测自净时间比对的方法，具体检测方法应符合现行国家标准《洁净室施工及验收规范》GB 50591的规定；

  3 宜采用100：1自净时间检测法进行检测，同时采用大气尘或人工尘源，采用粒子计数器测试。

  二、非单向流洁净室自净能力检测应按下列步骤及方法进行：

  1 将室内浓度升高到100倍的洁净室级别上限浓度，采用尘埃粒子计数器对室内洁净度进行间隔1min的连续检测，记录达到级别上限浓度所需要的时间；

  2 自净速率、100：1自净时间应按下列公式计算：

  围护结构严密性检测

  一、围护结构严密性检测应符合下列规定：

  1 围护结构严密性检测宜使用目测法、压力衰减法和恒压法；

  2 压力衰减法和恒压法的压力设定值，应根据工程实际情况与建设方协商确定，且不应超过围护结构的承受能力；

  3 测试过程中室内温度应保持稳定。

  二、围护结构严密性检测应按下列步骤及方法进行：

  1 当采用目测法时，应采用发烟管等示踪指示剂，在有压洁净室的待测位置进行气流示踪检查，观察有无明显的渗漏气流；

  2 当采用压力衰减法时，被测洁净室内到达某一设定压力后，应观察室内压力随时间的衰减情况，记录压力衰减到一半时所用的时间；

  3 当采用恒压法时，被测洁净室内到达某一设定压力后，应通过补气或抽气使室内压差维持稳定，采用流量计读取漏泄量，每分钟读数一次，取平均值，测试不宜超过5min。

  围护结构防渗漏检测

  一、围护结构防渗漏检测应符合下列规定：

  1 围护结构防渗漏测试宜采用粒子计数器和光度计；

  2 应检查围护结构的连接处、各种缝隙、工艺管道穿墙处，测试点的数目和位置宜协商确定。

  二、围护结构防渗漏检测应按下列步骤及方法进行：

  1 应在洁净室内，距被测部位5cm处，以5cm／s的速度进行扫描，检查渗漏情况。

  2 当采用粒子计数器时，应首先测量洁净室外部紧邻围护结构或入口处的粒子浓度，该浓度不应小于洁净室内浓度的103倍，且不应低于3．5×106粒／m3，当浓度小于该值时，应采用人工尘提高浓度。对于打开的入口的防渗漏检测，宜采用示踪法检测入口处的气流流向。

  3 当采用光度计时，宜在洁净室围护结构外侧发人工尘，其浓度应超过光度计在0．1％设置时的满量程，对于打开的入口的防渗漏检测，应采用光度计测量门内侧0．3m～1．0m处的微粒浓度。