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无尘室的适用范围很广,只要洁净要求比较高的都会用到。今天我们就来为大家讲述一下无尘室等级分类及应用标准。
01、无尘室的等级说明
依据美国联邦政府颁布的标准【Federal Atandard(FS)209E,1992】,可将无尘室分为六级。分别是1级、10级、100级、1000级、10000级、100000级,如果无尘室的等级只用尘粒数目来叙述,则可假设尘粒的尺寸是0.5um,无尘室等级应以特定尘粒尺寸的级数来表示。例如:10级在0.2um(尘粒尺寸在0.2um或更大下,密度不大于75颗/立方英尺),1级在0.1um(尘粒尺寸在0.1um或更大下,密度不大于35颗/立方英尺)。
02、无尘室等级标准
据查询无尘室等级标准的版本较多,于是小编就整理两个较常用的划分标准,分别是国际标准 IOS14 ** 4-1和中国标准 GB/T16292-1996,具体详情请看下表:
空气洁净度分级标准:IOS14 ** 4-1(国际标准)
Air Change:FFU的表面积*风速*FFU数量/无尘室体积
HEPA遮蔽率:FFU的表面积*FFU数量/无尘室面积
>>>风速、温湿度
气流速度为:0.3-0.5m/s(60-100ft/min)
一般温度控制范围:T=(21±2)℃
一般湿度控制范围:(45±5)%RH
>>>压差
在两个无尘室间合理的设计压力差应为10Pa,而在无尘室和未确认洁净等级的区域应保持有15Pa的压力差。当产生这些压力差有实际困难时,维持5Pa的最小压力差是可以接受的。
>>>构成要求
A.不会因温度变化与振动而发生裂痕
B.不易产生微尘粒子,且很难附着粒子
C.吸湿性小
D.为了维持室内之湿度条件,热绝缘性要高
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